Самойликов Р.В. Исследование эксплуатационных характеристик теплообменных систем оборудования полупроводникового производства : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / Р.В. Самойликов, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный.