Савенко А.Ю. Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / А. Ю. Савенко, 2008. - 18 с. - Текст : непосредственный.