Лысенко И.Е. Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / И. Е. Лысенко, 2002. - 22 с. - Текст : непосредственный.
Функционально интегрированные элементы интегральных схем и микросистем / Рындин Е. А., 2015. - 78 с. - Текст : электронный.
Современные информационные технологии: тенденции и перспективы развития : Материалы конференции / Абрамян А. В., 2014. - 440 с. - Текст : электронный.