Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : выставочные материалы / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов, 2013. - 35 с. - Текст : непосредственный.
Лукичев В.Ф. Теоретическое исследование глубокого анизотропного травления кремниевых структур в низкотемпературной плазме : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / В. Ф. Лукичев, 1997. - 25 с. - Текст : непосредственный.
Труды ФТИАН / Российская академия наук, Физико-технологический институт. Т. 26 : Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование / ред. В. Ф. Лукичев, 2017. - 133 с. - Текст : непосредственный.
Труды ФТИАН / Российская академия наук, Физико-технологический институт. Т. 19 : Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование / Отв. ред. В. Ф. Лукичев, 2008. - 247 с. - Текст : непосредственный.
Труды ФТИАН / Российская академия наук, Физико-технологический институт. Т. 23 : Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование / отв. ред. В. Ф. Лукичев, 2013. - 213 с. - Текст : непосредственный.
Нанотехнологии в электронике-3.1 / Амиров И. И., 2016. - 480 с. - Текст : электронный.
Приложение
для Android