Левенец В.В. Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / В. В. Левенец, 1994. - 19 с. - Текст : непосредственный.