Кузмичев А.В. Исследование процессов импульсивного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.21 / А. В. Кузмичев, 1995. - 23 с. - Текст : непосредственный.