Коняев И.В. Кинетика и механизмы плазмохимического травления танталата лития : специальность: 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Коняев Иван Васильевич, 2019. - 19 с. - Текст : непосредственный.