Основы автоматизации техпроцессов : учеб. пособие / А. В. Щагин [и др.], 2009. - 163 с. - Текст : непосредственный.
Кононов В.Ю. Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / В. Ю. Кононов, 1993. - 27 с. - Текст : непосредственный.