Комлев А.Е. Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.02 / А. Е. Комлев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Технология изделий электронной техники : учеб. пособие / А. В. Завьялов [и др.]; под ред. В. И. Шаповалова, 2010. - 95 с. - Текст : непосредственный.