Ковалгин А.Ю. Исследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / А. Ю. Ковалгин, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.