Карами Юсеф.Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук / Карами Юсеф, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.