Боженов А.В. Механизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. В. Боженов, 2001. - 25 с. - Текст : непосредственный.