Боднарь Д.М. Процессы ионно-плазменного травления и очистки при создании контактно-металлизационных систем биполярных СБИС : Дис.на соискание ученой степени канд. техн. наук в формеи науч. докл.: 05.27.01 / Д. М. Боднарь, 1990. - 25 с. - Текст : непосредственный.