Учебное пособие по курсу "Радиоматериалы и технологические основы микроэлектроники". Новые методы в технологии микроэлектроники / П.А.Арсентьев,Е.К.Копылова,В.А.Сурогина,Д.С.Холодный;Ред. В. А. Филиков, 1989. - 109 c. - Текст : непосредственный.