Полное описание

Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / А. А. Семенов, П. Ю. Белявский, А. А. Никитин, И. Л. Мыльников ; Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2018. - 36 с. : ил. - (Учебное пособие). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 35 (14 назв.). - 70 экз. - ISBN 978-5-7629-2340-8. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13	621.384-047.84
47.33.33	621.37/.38

Рубрики:
Электронные приборы -- Производство
Радиофотоника

Доп. точки доступа:
Семенов, А.А.
Белявский, П.Ю.
Никитин, А.А.
Мыльников, И.Л.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-18/60911)

Шифр в сводном ЭК: 9ebd880b0d7146b695a857b5503f67b4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽