Полное описание

Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung. - Pittsburgh, Pa : Materials research soc., 1989. - XI, 401 p. 401 p. : ill. - (Symposia proceeding / Materials research soc., ISSN 0272-9172 ; n147). - ISBN 1-55899-020-8. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце гл. Указ.: с. 939-401
Перевод заглавия: Дефекты в материалах электронной чистоты:Труды симп. Бостон, 1987

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669(063)

Рубрики:
Ионное внедрение -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ -- ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Cheung, N.W.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/14156/147)

Шифр в сводном ЭК: 3d95f61d74298841bb96b2cb7d4ed198

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽