Процессы микро- и нанотехнологий в производстве устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / П. Ю. Белявский, А. А. Никитин, А. А. Семенов [и др.], 2018. - 58 с. - Текст : непосредственный.
Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / А. А. Семенов, П. Ю. Белявский, А. А. Никитин, И. Л. Мыльников, 2018. - 36 с. - Текст : непосредственный.