Полное описание

Сорокин, И. Н. Диэлектрические пленки в полупроводниковой электронике / И. Н. Сорокин, М. В. Акуленок. - М. : [б. и.], 1995. - 116 c. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-7256-0076-9. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электрон.техники (техн.ун-т).Библиогр.:с.111-116(55 назв.)

ГРНТИ	УДК
45.09.37	621.315.61-416

Рубрики:
Диэлектрические пленки

Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПЛЕНКА -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПЛЕНКА
Доп. точки доступа:
Акуленок, М.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-95/24320)

Шифр в сводном ЭК: fafd777b9bdf2acabc28b7b35cb9d3d3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽