Полное описание

Кушхов, А. Р. Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Р. Кушхов. - Нальчик, 2004. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18(6 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:621.794(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар05-302)

Шифр в сводном ЭК: fa55c5c9a8b533c9833c25b1d55f0768

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽