Полное описание
>
Кузнецов, Г. Д. Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны : учеб. пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов. - М. : МИСИС, 2012. - 96 с. : ил. - Библиогр.: с. 96. - 100 экз. - ISBN 978-5-87623-572-5. - Текст : электронный.Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ГРНТИ | УДК | |
29.15.35 | 539.124.17 | |
ББК | ||
22.3 |
Рубрики:
Электроны -- Взаимодействие с веществом
Кл.слова (ненормированные): ИОН -- ТВЕРДОЕ ТЕЛО -- ФИЗИКА -- ЭЛЕКТРОН
Аннотация: Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела. В каждой главе приводятся контрольные вопросы для проверки усвоения материала, темы практических занятий и индивидуальных домашних заданий. Учебное пособие подготовлено по рекомендации горно-металлургической секции PAEН. Соответствует программе курса «Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом». Предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Доп. точки доступа:
Кушхов, А.Р.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : г. Москва, ул. 3-я Хорошёвская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-12/91419)>
Шифр в сводном ЭК: e433ecc2dc530c50ca8604aa4e10a15b
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания ЭБС IPR SMART