Полное описание

Одиноков, В. В. Новое технологическое оборудование - инновационным технологиям микро-, нано- и радиоэлектроники / В. В. Одиноков. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVIII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, сент. 2011 г. - М. : МИЭМ, 2011. - С. 353-356.
ГРНТИ 81.29.31 + 47.13.07

Аннотация: ОАО "НИИ точного машиностроения" специализируется на разработке вакуумно-плазменного оборудования для нанесения тонких пленок, реактивно-ионного и плазмохимического травления, газофазного осаждения стимулированного плазмой (РЕ CVD), a также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления и отжига. Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического оборудования, включая комплект малогабаритного оборудования настольного типа.

Имеются экземпляры в отделах: всего -20130117 : ПНТ (-20130117)
Свободны: ПНТ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -584682-413790)

Шифр в сводном ЭК: e00e41464515add2277787827ea6e004

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽