Полное описание

European workshop on materials for advanced metallization (4 ; 2000 ; Stresa). Proceedings of the 4th European workshop on materials for advanced metallization, Stresa, Feb.28 - Mar.1 2000 / European workshop on materials for advanced metallization (4; 2000; Stresa) ; Ed.: G. De Santi, G. Ottaviani. - Amsterdam [etc.] : Elsevier. - VIII, 417 p. 417 p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; 2001,Vol.55,N 1/4). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст. Указ.:с.409-417

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84:621.793(062)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Металлизация -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
De Santi, G.\ed.\
Ottaviani, G.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/2001,Vol.55,N 1/4)

Шифр в сводном ЭК: ddc59de60f48756d70d123c8f75071ae