Полное описание

Forschungszentrum(Karlsruhe).
Wissenschaftliche Berichte : дис. ... / FZKA. - Karlsruhe. - 19 - . - Текст : непосредственный.
7492 : Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials : diss. / M. Haj-Taieb, J. Aktaa, K. Bade. - 2009. - VIII, 128 p. : ill. - Библиогр.: с. 117-128 (124 назв.)

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4-03(043)

Рубрики:
Микроэлектромеханические системы -- Материалы

Доп. точки доступа:
Aktaa, J.
Bade, K.
Forschungszentrum(Karlsruhe)

Имеются экземпляры в отделах: всего -20100405 : ХР (-20100406), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/7492)

Шифр в сводном ЭК: d256daf23b669b8328760f0714e85fc9

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽