Полное описание
> Многопараметровая диагностика микро- и наноструктур / Д. И. Биленко [и др.] ; Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского. - Саратов : Изд-во Сарат. ун-та, 2015. - 133 с. : ил. - (Материаловедение и технология новых материалов). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 129-131 (35 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
81.09.30 | 620.22-022.532 | |
47.33.37 | 621.3.049.76 |
Рубрики:
Наноструктурные материалы
Микроэлектроника
Доп. точки доступа:
Биленко, Д.И.
Вениг, С.Б.
Терин, Д.В.
Белобровая, О.Я.
Галушка, В.В.
Саратовский гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-15/32421)>
Шифр в сводном ЭК: d0804be25a5c2330e13146ad79af1e04
Заказ фрагмента документа ₽