Полное описание

Paik, U. Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization : fabrication of next-generation nanodevices / U. Paik, J. -G. Park. - Boca Raton, Fl : CRC Press; Taylor & Francis Group, 2009. - XIII, 191 p. : ill. - (Chemical engineering). - Библиогр.: с. 171-176. Указ.: с. 177-191. - ISBN 978-1-4200-5911-3. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.13.30	620.3

Рубрики:
Нанотехнологии

Доп. точки доступа:
Park, J.-G.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/27969)

Шифр в сводном ЭК: c047bbd5134534acb42df6e2d041d01c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽