Полное описание

Бейсенханов, Н. Б. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / Н. Б. Бейсенханов. - Алма-Ата, 2011. - 31 с. : ил. - Библиогр.: с. 26-31 (51 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13	621.38-416(043)

Кл.слова (ненормированные): КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ -- МИКРОСТРУКТУРА -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ФАЗОВЫЙ СОСТАВ
Аннотация: Исследование особенностей процесса кристаллизации, микроструктуры и фазового состава слоев SiC_x (х = 0,03-1,4), синтезированных многократной имплантацией ионов углерода различных энергий в кремний; комплексное исследование оптических и электрофизических свойств, микроструктуры и фазового состава тонких пленок SnO_x, синтезированных методами золь-гель технологии, магнетронного реактивного распыления и ионно-лучевого распыления, модифицированных различными условиями термической и плазменной обработок.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР11-30560)

Шифр в сводном ЭК: bf615303a1f64bc25a2f240d3dad7a1e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽