Полное описание

Бодров, Е. Э. Основные технологические процессы производства интегральных схем : учебное пособие / Е. Э. Бодров, Д. А. Кривошеев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Магнитогорский государственный технический университет им. Г. И. Носова. - Магнитогорск : Магнитог. гос. техн. ун-т им. Г. И. Носова, 2018. - 74 с. : ил. - Библиогр.: с. 72 (5 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84

Рубрики:
Интегральные схемы -- Производство

Доп. точки доступа:
Кривошеев, Д.А.
Магнитогорский государственный технический университет им. Г. И. Носова

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-18/64213)

Шифр в сводном ЭК: bd2f41a8dcea67dd58595412f0e82fe2

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽