Полное описание

Чапланов, А. М. Стационарный и импульсный отжиг тонких пленок : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:05.27.01 / А. М. Чапланов. - Минск, 1992. - 32 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: АН Республики Беларусь.Ин-т электроники. Библиогр.: с. 28-32(45назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР92-06626)

Шифр в сводном ЭК: b9695c6f15c59750d547df62355123a1

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽