Полное описание

Агеев, О. А. Исследование температурных полей, напряжении и дефектообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / О. А. Агеев. - Таганрог, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Таганрог.гос.радиотехн.ун-т. Библиогр.: с.14-16(15 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84:621.785(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-0130)

Шифр в сводном ЭК: b505c16b37bb0c7d48a7de07d0c6deb5

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽