Полное описание
> Ultimate limits of fabrication and measurement : proc.of the NATO advanced research workshop on ultimate limits of fabrication and measurement,Cambridge,Apr.1-3,1994 / Ed.: M. E. Welland, J. K. Gimzewski ; ed. M. E. Welland, ed. J. K. Gimzewski. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 1995. - X,254 p. p. : ill. - (NATO advanced study institutes series. Ser.E, Applied sciences ; vol.292). - ISBN 0-7923-3504-X. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.249-254
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76(063) | |
621-181.4(062) |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Съезды и конференции
Миниатюрные изделия -- Съезды и конференции
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Доп. точки доступа:
Welland, M.E.\ed.\
Gimzewski, J.K.\ed.\
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/9632/292)>
Шифр в сводном ЭК: b1653a4cf174906e6c7682e86d4eef8d
Заказ фрагмента документа ₽