Полное описание

Андрианов, Н. А. Плазменные процессы в технологии НЕМТ транзисторов на основе III-нитридов : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / Н. А. Андрианов. - 2018. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.323-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): НИТРИДЫ МЕТАЛЛОВ ТРЕТЬЕЙ ГРУППЫ -- ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- ПОЛЕВЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОРЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-8509)

Шифр в сводном ЭК: a6d3efbd886f1e246179dd4055e0e9cd

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽