Полное описание
> Акулинин, С. А. Деградационные процессы в тонкопленочных компонентах интегральных схем и их влияние на качество и надежность : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / С. А. Акулинин. - Воронеж, 1999. - 30 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 25-30(58 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.33.31 | 621.3.049.77.004.6(043) | |
47.13.23 | 621.396.6.019.3(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-сф110)>
Шифр в сводном ЭК: a321f731893f714ba1f78b8c7c8463ab
Заказ фрагмента документа ₽