Полное описание

Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике : сб. науч. тр. / Воронеж.гос.ун-т им.Ленин.комсомола ; Редкол.:Я.А.Угай. - Воронеж : [б. и.], 1989. - 196 с. : ил. - 600 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76
47.13.11

Рубрики:
Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Доп. точки доступа:
Угай, Я.А.\ред.\
Воронежский ун-т им. Ленинского комсомола

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-89/65857)

Шифр в сводном ЭК: a2b955912c8ed0b15b3df48fc1cb560a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽