Полное описание

Зюрюкин, А. В. Компьютерное моделирование процессов распространения и осаждения аэрозольных частиц в локальных чистых объемах микроэлектроники : специальность 05.27.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / А. В. Зюрюкин. - М., 1996. - 29 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск.ин-т электронной техники (техн.ун-т).Библиогр.:с. 28-29(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382.002(043)
75.31.25	697.9(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР97-022)

Шифр в сводном ЭК: 9faf41ca8fc5e6f52879217e87dd27de

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽