Полное описание

Учебно-методические материалы по направлению "Нанотехнологии и микросистемная техника" : учеб. пособие / Н. Н. Андрианова [и др.]; под общ. ред. И. В. Суминова, В. А. Сорокина. - М. ; СПб. : [б. и.], 2011 (Санкт-Петербург). - 479 с. : ил. - На обл. авт не указ. - Библиогр. в конце разд. - 300 экз. - ISBN 978-5-91918-128-6. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: "МАТИ"- Рос. гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского

ГРНТИ	УДК
81.13.30	620.3
	621-181.4

Рубрики:
Нанотехнологии
Микросистемотехника

Аннотация: Лекционные курсы, лабораторный практикум и методические указания по курсу "Нанотехнологии и микросистемная техника". Лекционные курсы содержат сведения по материаловедению и технологиям конструкционных материалов, физическим основам ионно-лучевых технологий и плазменно-электролитическим технологиям обработки материалов.
Доп. точки доступа:
Андрианова, Н.Н.
Борисов, А.М.
Быцкевич, В.М.
Васин, В.А.
Крит, Б.Л.
Суминов, И.В.\ред.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-11/80550)

Шифр в сводном ЭК: 8cd6c7557821b235e40735b60de16337

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽