Полное описание

Кривошеева, А. Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин. - СПб. : СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2012. - 118 с. : ил. - Библиогр.: с. 118 (16 назв.). - 35 экз. - ISBN 978-5-7629-1199-3. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ".

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592:621.794

Рубрики:
Полупроводники -- Травление

Доп. точки доступа:
Лучинин, В.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-12/4747)

Шифр в сводном ЭК: 6d8f0d7515a18ec42f9813c59c922281