Полное описание

Mulder, E. H. On the throuhput optimization of electron beam lithography systems : diss. / E.H.Mulder. - Delft, 1991. - Pag.var. - Текст : непосредственный.
Рез.гол.Библиогр.в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(043)

Рубрики:
Электронолитография -- Оптимизация

Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/23922)

Шифр в сводном ЭК: 65abd6b1cfefac19be10af8be063ce85

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽