Полное описание

Чаплыгин, Ю. А. Введение в технологию кремниевых микроэлектронных датчиков : учеб.пособие / Ю.А.Чаплыгин,А.И.Галушков;Под ред.Ю.А.Чаплыгина. - М. : [б. и.], 1996. - 70 с. : ил. - 100 экз. - ISBN 5-7256-0139-0. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электрон.техники.Библиогр.:с.68(8 назв.)

ГРНТИ	УДК
50.09.37	681.586.72.002

Рубрики:
Датчики полупроводниковые -- Производство

Доп. точки доступа:
Галушков, А.И.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-96/28978)

Шифр в сводном ЭК: 552efa4bbe9cebc6d3173cb2f44f691a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽