Полное описание

Чаплыгин, Ю. А. Кремниевые микроэлектронные датчики на основе КМОП конструктивно-технологического базиса : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / Ю. А. Чаплыгин. - М., 1995. - 46 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 40-46 (48 назв.). Для служ. пользования

ГРНТИ	УДК
50.09.37	681.586.72(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-069)

Шифр в сводном ЭК: 4f8459135d73cc02e29be0b3e0c4f3d4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽