Полное описание

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / М. В. Акуленок [и др.]. - М. : Бином. Лаб. знаний, 2011 - . - (Нанотехнологии). - Текст : непосредственный.
Т. 2 : Технологические аспекты. - 2011. - 252 с. - Библиогр.: с. 243-248 (110 назв.). - ISBN 978-5-9963-0341-0. - ISBN 978-5-9963-0336-6

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84
81.13.30	620.3

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Нанотехнологии

Аннотация: Изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов для нанометрового диапазона.
Доп. точки доступа:
Акуленок, М.В.
Андреев, В.М.
Громов, Д.Г.
Зиновьев, Д.В.
Мочалов, А.И.

Имеются экземпляры в отделах: всего -20110206 : ХРЦ (-20110206)
Свободны: ХРЦ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/66331/2)

Шифр в сводном ЭК: 3def1bed28ebe486d002d1be17b65a13

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽