Полное описание

Muller, K. -D. Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern : Diss. / K.-D.M@:uller. - Karlsruhe, 1999. - III,83 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 6254). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.75-78

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4(043)

Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/6254)

Шифр в сводном ЭК: 3d01a093025a084d33d0aa69faff9268

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽