Полное описание

Боднарь, Д. М. Процессы ионно-плазменного травления и очистки при создании контактно-металлизационных систем биполярных СБИС : дис.на соискание ученой степени канд. техн. наук в формеи науч. докл.: 05.27.01 / Д. М. Боднарь. - Воронеж, 1990. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Воронеж. гос. ун-т им.Ленин. комсомола. Библиогр.:с. 23-25(23 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-013621)

Шифр в сводном ЭК: 31e69fb60ae0a85fed658346d519134b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽