Полное описание

Элементная база микро-и наноэлектроники:физика и технология : сборник / Московский ин-т электронной техники ; Ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : [б. и.], 1994. - 179 c. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-7256-0014-9. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76
	621.38-022.532

Рубрики:
Микроэлектронные приборы
Наноэлектроника

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Чаплыгин, Ю.А.\ред.\
Московский ин-т электронной техники

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-94/16852)

Шифр в сводном ЭК: 2ea50acdf78d0fd20282e634f843b336

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽