Полное описание

Muller, C. Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik / C.M@:uller,J.Mohr. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - II,84 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5609). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.81-84

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002.5
	621-181.4

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Оборудование
Миниатюрные изделия -- Производство -- Оборудование

Доп. точки доступа:
Mohr, J.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5609)

Шифр в сводном ЭК: 1e4d146879b272aa15ed91ff38e4dd5f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽