Полное описание
> Yu, X. Untersuchungen zum Einfluss von mechanischem Stress auf die Migration in Metallisierungsstrukturen integrierter Schaltungen : Diss. / X.Yu. - Hannover, 2000. - X, 91 S. 91 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.87-91
ГРНТИ | УДК | |
47.33.31 | 621.3.049.77-047.84:621.793(043) |
Рубрики:
Интегральные схемы -- Металлизация
Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/21084)>
Шифр в сводном ЭК: 1c39a2ac9a266c5309737752d8c73cef
Заказ фрагмента документа ₽