Полное описание

Бейсенханов, Н. Б. Исследование структурных свойств приповерхностного слоя кремния имплантированного высокими дозами углерода : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Н. Б. Бейсенханов. - Алматы, 1994. - 22 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Ин-т физики высоких энергий.Библиогр.:с.21-22(11 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.3(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-5445)

Шифр в сводном ЭК: 18940a466fcd7b8634bfd44e232b9268

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽