Полное описание

Чапкевич, А. Л. Исследование имплантационных методов формирования структур полупроводниковых СВЧ и фотодиодов : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. Л. Чапкевич. - М., 2004. - 42 c. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 38-42(32 назв.)

ГРНТИ	УДК
29.35.47	621.382.2.029.6.002(043)
47.33.33	621.383.52.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-сф124)

Шифр в сводном ЭК: 148cfbafa9279a1b929575bd6c8f6360

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽