Полное описание

Шабельникова, Я. Л. Анализ ключевых характеристик методов локальной диагностики полупроводников - метода наведенного рентгеновским пучком тока и рентгеновского флуоресцентного метода : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07, 05.27.01 / Я. Л. Шабельникова. - 2013. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-26 (15 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.382:620.179(043)

Кл.слова (ненормированные): ДЕФЕКТОСКОПИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-2508)

Шифр в сводном ЭК: 0ef41fa4615bcc18ad87c7bf71f10ed6

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽