Полное описание

Боднарь, О. Б. Теоретические и экспериментальные исследования диффузии бора и фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / О. Б. Боднарь. - М., 1997. - 26 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. гос. акад. приборостроения и информатики. Библиогр.:с. 24-26(9назв.)

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.219.3(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР97-728)

Шифр в сводном ЭК: 00e5047c19b1831dd6809667ccda1764

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽