Копейкин А.Н. Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / А. Н. Копейкин, 2003. - 19 с. - Текст : непосредственный.